Kirichenko, V.G.Kovalenko, O.V.Кіріченко, В.Г.Коваленко, О.В.2012-04-112012-04-112011Kirichenko V.G. Structural inhomogeneity of a garnet’s thin films / V.G. Kirichenko, O.V. Kovalenko // Вiсник Харкiвського нацiонального унiверситету iм. В.Н. Каразiна. – 2011. – № 969. Сер.: Фізична. «Ядра, частинки, поля». – Вип. 3(51). – С. 67 – 71https://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/5676Тhe results of study of yttrium – iron garnet (YIG) thin films structure after ion-beam deposition on gadolinium gallium garnet substrate are presented. According to the data of Rutherford backscattering spectrometry of the gadolinium gallium garnet substrate structure and films layer-by-layer analysis leads us to the conclusion about variable elemental composition of substrate and YIG films. The amorphous paramagnetic films of YIG are formed on substrate surface. The iron and yttrium content is increased on the depth of films. Представлены результаты исследования процессов формирования пленок железо-иттриевого граната (ЖИГ) методами ионно-лучевого распыления на подложках галлий - гадолиниевого граната. Послойный анализ пленок по данным спектрометрии резерфордовского обратного рассеяния приводит к выводу о переменном элементном составе подложки и пленок ЖИГ. На поверхности подложки образуются аморфные парамагнитные пленки ЖИГ. Содержание железа и иттрия увеличивается по глубине пленок. Представлені результати дослідження процесів формування плівок залізо - ітрієвого граната (ЗІГ) методами іонно-променевого розпилення на підкладках галлій-гадолінієвого граната. Пошаровий аналіз плівок за даними спектрометрії резерфордовського зворотного розсіяння приводить до виводу про змінний елементний склад підкладки і плівок ЗІГ. На поверхні підкладки утворюються аморфні парамагнітні плівки ЗІГ. Вміст заліза і іттрію збільшується по глубені плівок.eniron-yttrium garnetthin filmselement and phase compositionamorphizationcrystallizationmagnetically phaseжелезо-иттриевый гранаттонкие пленкиэлементный и фазовый составаморфизациякристаллизациямагнитоупорядоченная фазазалізо-іттрієвий гранаттонкі плівкиелементний і фазовий складаморфізаціякристалізаціямагнітовпорядкована фазаArticle