Артюшенко, К.П.Artushenko, K.P.2019-05-112019-05-112017Артюшенко К.П. Фізичні процеси у приелектродних шарах i плазмі тліючого та високочастотного ємнісного розрядів. – Кваліфікаційна наукова праця на правах рукопису. Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико – математичних наук за спеціальністю 01.04.08 – фізика плазми (Фізико- математичні науки). – Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Харків, 2017.https://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/14650Дисертаційна робота присвячена розв’язанню наукового завдання, яке полягає у з'ясуванні структури і властивостей катодного шару і позитивного стовпа тліючого розряду, а також приелектродного шару і квазінейтральної плазми ВЧ ємнісного розряду. Найбільш важливою частиною тліючого розряду є катодний шар. У лабораторних і технологічних камерах низькотемпературна плазма зазвичай контактує з їх стінками, а також електродами, ленгмюрівськими зондами тощо. Між стінками розрядних камер і плазмою виникає перехідна область - приелектродний шар. Такий шар описується законом Чайльда-Ленгмюра (закон "3/2"), в якому не враховуються зіткнення позитивних іонів із молекулами газу. Для випадку руху іонів крізь шар із зіткненнями з молекулами газу в роботах інших дослідників було виведено два рівняння (за аналогією їх часто також називають рівняннями Чайльда-Ленгмюра), одне з яких передбачає рух іонів з постійною довжиною вільного пробігу  i , а друге відповідає руху іонів з постійною рухливістю i. Доцільно з'ясувати, який із законів Чайльда-Ленгмюра може використовуватися для опису характеристик катодного шару.Artushenko K.P. Physical processes in near-electrode sheaths and plasma of glow and radio frequency capacitive discharges. – Qualification scientific paper (manuscript). 6 Thesis for a Candidate of Science Degree in Physics and Mathematics (PhD) by speciality – plasma physics (Physics and mathematics). – V.N.Karazin Kharkiv National University, Kharkiv, 2017.ukResearch Subject Categories::SOCIAL SCIENCES::Social sciences::EducationResearch Subject Categories::NATURAL SCIENCESтліючий розрядкатодний шапозитивний стовпнормальний режиманомальний режимвисокочастотний ємнісний розрядзведене електричне полеglow dischargecathode sheathpositive columnnormal modeabnormal moderadio frequency capacitive dischargereduced electric fieldBook