Гречко, Я.О.2017-03-302017-03-302016Студентська наукова конференція з прикладної фізики „Актуальні проблеми сучасної фізики”: Тези. – Х.: ХНУ імені В.Н. Каразіна, 2016. - 15с.https://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/12631Теза доповіді студентської наукової роботиukПлазмові технології в нанолітографії