Верещака, Є.А.збалансовані МРС2022-12-202022-12-202022-12-20Верещака, Є.А. Фізичні основи магнетронного розпорошення та різновиди магнетронних систем для нанесення покриттів : кваліфікаційна робота магістра, спеціальность 105 - Прикладна фізика та наноматеріали, освітня програма - Експериментальна ядерна фізика та фізика плазми / Є.А. Верещака ; Науковий керівник К.М. Середа. - Харків : ХНУ імені В.Н. Каразіна, 2022. - 50 с.https://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/17694Виконав: студент 2 курсу навчання за ОНП магістр спеціальності 105 Прикладна фізика та наноматеріали освітня програма: Експериментальна ядерна фізика та фізика плазми Верещака Є.А. Керівник Середа К.М., кандидат фізико-математичних наук, ст. наук. співроб.ukкваліфікаційна роботамагістрмагнетронні розпорошувальні системи (МРС)іонне розпорошенняМРС з ВЧ-індукторомімпульсні МРСнезбалансовані МРСконічні МРСпланарні МРСциліндричні МРСрух електронів та іонів у розрядному проміжку МРСмагнітна пастка для електронівOther