Концентрационные зависимости составов трехкомпонентных вакуумных конденсатов на плоской подложке

Abstract

Представлен способ описания концентрационных зависимостей трехкомпонентных вакуумных конденсатов в ортогональных координатах. Рассмотрены случаи получения сплавов при различных вариантах размещения трех испарителей и конденсации слоев на плоской подложке. Для определенных вариантов размещения испарителей показана возможность получения квазибинарных сечений трехкомпонентных сплавов широкого интервала составов. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Наводиться спосіб описування концентраційних залежностей трьохкомпонентних вакуумних конденсатів в ортогональних координатах. Разглянуто випадки одержання сплавів при різних варіантах розташування трьох випарників і конденсації шарів на плоскій підкладці. Для певних варіантів розташування випарників показано можливість одержання квазибінарних перетинів трьохкомпонентних сплавів широкого интервалу складів. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A method describing the concentration dependences of ternary vaccum condensates in orthogonal coordinates is outlined. Various mutual dispositions of three evaporators for condensation of layers on a flat substrate are discussed. With certain dispositions a possibility to obtain quasi-binary cross sections of ternary alloys in a broad range of contents is predicted.