Особенности alpha-gamma-перехода в ВЧ разряде низкого давления в аргоне

Abstract

Получено, что область устойчивого существования alpha-режима высокочастотного (ВЧ) разряда ограничена не только со стороны средних давлений, но и со стороны низких давлений. Особенностью alpha-gamma-перехода ВЧ разряда низкого давления является то, что критерий пробоя приэлектродного слоя не выполняется. Показано, что при низких давлениях alpha-gamma-переход ВЧ разряда в аргоне происходит скачком и имеет гистерезисный характер. При промежуточных давлениях alpha-gamma-переход происходит непрерывно, без скачков, при этом появляется отрицательная дифференциальная проводимость, формируются двойные слои, в центре разряда наблюдается немонотонное поведение плотности плазмы. Обсуждается роль стохастического (бесстолкновительного) нагрева электронов в поддержании ВЧ разряда при промежуточных давлениях газа.