Нормальный режим ВЧ разряда в аммиаке

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЛисовский, В.А.
dc.date.accessioned2011-10-24T08:14:23Z
dc.date.available2011-10-24T08:14:23Z
dc.date.issued2008
dc.description.abstractВ данной работе представлены вольт-амперные характеристики слаботочного режима ВЧ разряда в аммиаке для частот ВЧ электрического поля 13,56 МГц и 27,12 МГц. Получено, что только аномальный режим горения наблюдается при низких давлениях, когда рост тока сопровождается повышением ВЧ напряжения с полным покрытием разрядом площади электродов. Нормальный режим появляется при более высоких давлениях газа, когда рост тока происходит при увеличении площади, занимаемой разрядом на электродах. Разряд горит в аномальном режиме после полного покрытия поверхности электродов. Получено, что нормальная плотность тока увеличивается с повышением давления газа и частоты ВЧ электрического поля. Представлена аналитическая модель, предсказывающая пропорциональность нормальной плотности тока давлению в степени 5/6 и частоте в степени 11/6, что удовлетворительно описывает результаты экспериментов. This paper reports the current-voltage characteristics of a weak-current mode of the RF discharge in ammonia for the RF electric field frequencies of 13.56 MHz and 27.12 MHz. The only abnormal mode of burning is found to be observed at low pressure i.e. the current growth is accompanied by the RF voltage increase with a complete coverage of the electrode area by the discharge. The normal mode occurs at higher gas pressure i.e. the current growth takes place on increasing the area occupied by the discharge on the electrodes. The discharge burns in the abnormal mode after the electrode surface is completely covered with the discharge. The normal current density is found to increase with the growth of gas pressure and RF field frequency. An analytical model is reported predicting that the normal current density is proportional to the pressure to 5/6 power and to the frequency to 11/6 power furnishing the satisfactory description of the experimental results.en
dc.identifier.citationЛисовский В.А. Нормальный режим ВЧ разряда в аммиаке / В.А. Лисовский // Вiсник Харкiвського нацiонального унiверситету iм. В.Н. Каразiна. – 2008. – № 823. Сер.: Фізична. «Ядра, частинки, поля». – Вип. 3(39). – С. 97 - 102en
dc.identifier.urihttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/4873
dc.language.isoruen
dc.publisherХаркiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiнаen
dc.subjectradio frequency capacitive dischargeen
dc.subjectweak-current modeen
dc.subjectnormal modeen
dc.subjectabnormal modeen
dc.subjectcurrent-voltage characteristicen
dc.subjectammoniaen
dc.subjectвысокочастотный емкостный разрядen
dc.subjectслаботочный режимen
dc.subjectнормальный режимen
dc.subjectаномальный режимen
dc.subjectвольт-амперная характеристикаen
dc.subjectаммиакen
dc.titleНормальный режим ВЧ разряда в аммиакеen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
823_3(39)_08_p97-102.pdf
Розмір:
460.21 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.9 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Наукові роботи. Навчально-науковий інститут "Фізико-технічний факультет"