Влияние диссоциации молекул газа на горение ВЧ разряда в аммиаке низкого давления

Abstract

Данная работа посвящена экспериментальному исследованию влияния процесса диссоциации молекул аммиака на горение ВЧ емкостного разряда. Показано, что для каждого давления аммиака имеется некоторое пороговое ВЧ напряжение, ниже которого степень диссоциации не превышает 3 %, а при более высоких ВЧ напряжениях степень диссоциации возрастает до 30 %. Повышение степени диссоциации NH3 ускоряет рост разрядного тока с ВЧ напряжением. ВЧ разряд как при низкой, так и при высокой степени диссоциации остается в слаботочной моде, т.к. все продукты диссоциации аммиака имеют более высокие потенциалы ионизации, чем NH3. This work is devoted to the experimental study of the effect of the dissociation of ammonia on burning RF capacitive discharge. It is shown that for each ammonia pressure there is a certain threshold RF voltage below which the degree of dissociation is less than 3%, while at higher RF voltages dissociation degree increases up to 30%. Increased dissociation of NH3 accelerates the growth of discharge current with radiofrequency voltage. RF discharge at both low and high degree of dissociation is in the low-current mode, as all the dissociation products of ammonia have higher ionization potentials than NH3. Ця робота присвячена експериментальному дослідженню впливу процесу дисоціації молекул аміаку на горіння ВЧ ємнісного розряду. Показано, що для кожного тиску аміаку є деяка порогова ВЧ напруга, нижче якої ступінь дисоціації не перевищує 3%, а при більш високих ВЧ напругах ступінь дисоціації зростає до 30%. Підвищення ступеня дисоціації NH3 прискорює зростання розрядного струму з ВЧ напругою. ВЧ розряд як при низькому, так і при високому ступені дисоціації залишається в слабкострумовій моді, тому що всі продукти дисоціації аміаку мають вищі потенціали іонізації, ніж NH3.