Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorФаренік, В.І.
dc.date.accessioned2011-07-11T11:00:42Z
dc.date.available2011-07-11T11:00:42Z
dc.date.issued2009
dc.description.abstractУ цьому огляді наводяться результати наукових досліджень та прикладних розробок, виконаних у ХНУ імени В.Н. Каразіна НФТЦ МОН та НАН України з середини 70-х років до початку 90-х у галузі фізичних основ плазмових технологій для мікроелектроніки. В этом обзоре приводятся результаты научных исследований и прикладных разработок, выполненных в ХНУ имени В.Н. Каразина и НФТЦ МОН и НАН Украины с середины 70-х годов до начала 90-х в области физических основ плазменных технологий для микроэлектроники. In this review the findings of research investigations and applied developments made in both V.N. Karazin KNU and SCPT MES & NAS Ukraine from the end 70 up to the end 90 in the field of a basic physics of plasma technologies for micro- and nanoelectronics are presented.en
dc.identifier.citationФаренік В.І. Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях / В.І. Фаренік // Фізична інженерія поверхні. – 2009. – Том 7, № 3. – С. 166 – 170.en
dc.identifier.otherУДК 539.23
dc.identifier.urihttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/3852
dc.language.isouken
dc.publisherХарківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН Україниen
dc.subjectплазмові технологіїen
dc.subjectмікроелектронікаen
dc.subjectіонні джерелаen
dc.subjectмасспектрометрen
dc.titleМалоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному поляхen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
09farmal.pdf
Розмір:
213.25 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.9 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Наукові роботи. Навчально-науковий інститут "Фізико-технічний факультет"