Определение коэффициентов переноса электронов в аргоне из кривых зажигания ВЧ и комбинированного разрядов низкого давления

Abstract

Из кривых зажигания высокочастотного (ВЧ) и комбинированного (ВЧ + постоянное электрическое поле) разрядов низкого давления определены значения дрейфовой скорости электронов Vdr в диапазоне E/p~70-2000 V/(cm·Torr) и отношение коэффициента продольной диффузии к подвижности электронов DL/mue в диапазоне E/p~1-2000 V/(cm·Torr).