Наукові роботи. Навчально-науковий інститут "Фізико-технічний факультет"
Постійне посилання колекціїhttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/1172
Переглянути
17 результатів
Результати пошуку
Документ Зажигание и режимы горения разряда постоянного тока с полым катодом(Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна, 2012) Лисовский, В.А.В данной работе были измерены кривые зажигания тлеющего разряда постоянного тока с полым и плоским катодами. Показано, что при низких давлениях (p ≤ 0,05 Торр) газа совпадают левые ветви кривых зажигания для полого катода и для плоских электродов. При высоких давлениях (p 0,3 Торр) газа правая ветвь кривой зажигания разряда с полым катодом близка к кривой зажигания для расстояния между плоскими электродами, равному зазору между краем пластин полого катода и плоским анодом. Измерены вольт-амперные характеристики разряда с полым катодом. Показано, что при низких давлениях p < 0,1 Торр газа разряд горит в высоковольтной (электронно-лучевой) форме с растущей вольт-амперной характеристикой, когда вторичные электроны ускоряются вдоль силовых линий электрического поля и формируют электронный пучок. При давлениях газа p ≥ 0,1 Торр разряд при низких токах горит в тлеющем режиме, в котором в полости между пластинами катода разрядное свечение практически отсутствует, а вольт-амперная характеристика разряда является растущей. При более высоких значениях тока разряд переходит в режим полого катода, заполняя пространство между пластинами, и имеет практически вертикальную вольт-амперную характеристику. Переход разряда из тлеющего режима в полый имеет гистерезисный характер. При давлениях газа p ~ 1 Торр эффект полого катода исчезает, так как толщина катодного слоя становится малой по сравнению с зазором между пластинами катода. Показано, что когда коллекторы на аноде располагаются поперек зазора между пластинами полого катода, радиальный профиль электронного тока на анод в режиме электронного луча имеет резко выраженный максимум в области оси разрядной камеры. Профиль является более плоским, если цепочка коллекторов на аноде направлена вдоль полости катода. Повышение давления газа приводит к сильному рассеянию электронов пучка, при этом радиальные профили электронного тока на анод становятся примерно одинаковыми в обоих поперечных направлениях как в тлеющем, так и в полом режимах. In this paper, we measured the breakdown curves of a dc glow discharge with hollow cathode and flat electrodes. It is shown that at low gas pressure (p ≤ 0.05 Torr), the left branches of the breakdown curves for the hollow cathode and the flat electrodes are identical. At high gas pressures (p 0.3 Torr), the right branch of the breakdown curve of the discharge with a hollow cathode is close to the breakdown curve for the distance between the plane electrodes, equal to the gap between the edge of the plates of the hollow cathode and flat anode. Current-voltage characteristics of the hollow cathode discharge were measured. It is shown that with low gas pressure p < 0.1 Torr discharge is in the high-voltage (electron beam) form with ascending current-voltage characteristic, when secondary electrons are accelerated along electric field lines and form an electron beam. In the gas pressure range p ≥ 0.1 Torr the discharge at low current burns in the glow mode, in which the discharge glow is practically absent in the cavity between the plates of the cathode, and the current-voltage characteristic of the discharge is ascending. At higher current the discharge goes into the hollow cathode mode, filling the space between the plates, and it has an almost vertical current-voltage characteristic. The transition from a glow discharge mode into a hollow one possesses a hysteresis. At gas pressures p ~ 1 Torr the hollow cathode effect disappears, since the thickness of the cathode layer is small compared with the gap between the plates of the cathode. It is shown that when the collectors are placed on the anode across the gap between the plates of the hollow cathode, the radial profile of the electron current to the anode in the mode of electron beam has a sharp maximum at the axis of the discharge chamber. The profile is flatter if the chain of collectors on the anode is directed along the cavity of the cathode. Increasing the gas pressure leads to a strong scattering of the electron beam, and the radial profiles of electron current to the anode are approximately the same in both transverse directions in the glow mode as well as in the hollow cathode one. У цій роботі були виміряні криві запалювання тліючого розряду постійного струму з порожнистим і пласким катодами. Показано, що при низькому тиску газу (p ≤ 0,05 Торр) ліві гілки кривих запалювання для порожнистого катода і для пласких електродів співпадають. При високому тиску газу (p 0,3 Торр) права гілка кривої запалювання розряду з порожнистим катодом близька до кривої запалювання для відстані між пласкими електродами, рівній зазору між краєм пластин порожнистого катода і пласким анодом. Виміряні вольт-амперні характеристики розряду з порожнистим катодом. Показано, що при низькому тиску газу p < 0,1 Торр розряд горить у високовольтній (електронно-променевій) формі зі зростаючою вольт-амперною характеристикою, коли вторинні електрони прискорюються вздовж силових ліній електричного поля і формують електронний пучок. При тиску газу p ≥ 0,1 Торр розряд при низькому струму горить у тліючому режимі, в якому в порожнині між пластинами катода розрядне світіння практично відсутнє, а вольт-амперна характеристика розряду є зростаючою. При більш високих значеннях струму розряд переходить у режим порожнистого катода, заповнюючи простір між пластинами, і має практично вертикальну вольт-амперну характеристику. Перехід розряду з тліючого режиму в порожнистий має гістерезисний характер. При тиску газу p ~ 1 Торр ефект порожнистого катода зникає, тому що товщина катодного шару стає малою в порівнянні з зазором між пластинами катоду. Показано, що коли колектори на аноді розташовані упоперек зазору між пластинами порожнистого катоду, радіальний профіль електронного струму на анод в режимі електронного променя має різко виражений максимум в області осі розрядної камери. Профіль є більш плоским, якщо ланцюжок колекторів на аноді спрямовано вздовж порожнини катода. Підвищення тиску газу призводить до сильного розсіювання електронів пучка, при цьому радіальні профілі електронного струму на анод стають приблизно однаковими в обох поперечних напрямках як в тліючому, так і в порожнистому режимах.Документ Амбиполярная диффузия в плазме, состоящей из электронов, отрицательных ионов и двух сортов положительных ионов(Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна, 2012) Лисовский, В.А.В данной работе исследована амбиполярная диффузия в электроотрицательной плазме. Рассмотрен случай плазмы, содержащей электроны, один сорт отрицательных ионов и два сорта положительных ионов. Получены формулы для коэффициента амбиполярной диффузии, которые в предельных случаях (один сорт отрицательных ионов, электроположительная плазма) приводятся к хорошо известным результатам. Показано, что в плазме с плотностью отрицательных ионов, более чем в 10 раз превышающей плотность электронов, необходимо учитывать подвижность отрицательных и положительных ионов. Выяснено, что в сильно электроотрицательной плазме диффузия перестает быть амбиполярной, коэффициенты амбиполярной диффузии заряженных частиц примерно равны их коэффициентам свободной диффузии. In this work we investigated the ambipolar diffusion in electronegative plasma. The case of a plasma containing electrons, one kind of negative ions and two kinds of positive ions is considered. The formulas for the coefficient of ambipolar diffusion are obtained, which in extreme cases (one kind of negative ions, electropositive plasma) give the well-known results. It is shown that in a plasma with a density of negative ions more than 10 times higher the density of electrons, it is necessary to take into account the mobility of positive and negative ions. It was found that in strongly electronegative plasmas diffusion is no longer ambipolar, the ambipolar diffusion coefficients of charged particles are approximately equal to their free diffusion coefficients. У цій роботі досліджено амбіполярну дифузію в електронегативній плазмі. Розглянуто випадок плазми, яка містить електрони, один сорт негативних іонів і два сорти позитивних іонів. Отримано формули для коефіцієнта амбіполярної дифузії, які в граничних випадках (один сорт негативних іонів, електропозитивна плазма) приводяться до добре відомих результатів. Показано, що в плазмі з щільністю негативних іонів, що більш ніж в 10 разів перевищує щільність електронів, необхідно враховувати рухливість негативних і позитивних іонів. З'ясовано, що в сильно електронегативній плазмі дифузія перестає бути амбіполярною, коефіцієнти амбіполярної дифузії заряджених частинок приблизно дорівнюють їх коефіцієнтам вільної дифузії.Документ Исследование осевой структуры тлеющего разряда постоянного тока в азоте методом ленгмюровского зонда(Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна, 2012) Лисовский, В.А.; Коваль, В.А.; Кравченко, Е.А.В данной работе методом ленгмюровского зонда исследованы осевые профили температуры электронов, потенциала, напряженности электрического поля и плотности плазмы тлеющего разряда постоянного тока в азоте при различных давлениях газа. Показано, что в отрицательном свечении напряженность электрического поля мала, а осевые профили плотности плазмы и температуры электронов имеют максимумы. Вблизи границы отрицательного свечения и темного фарадеевого пространства перечисленные выше профили достигают минимумов. В положительном столбе при низких давлениях газа наблюдаются страты, в то время как при более высоких давлениях газа (выше 0,5 Торр) он становится однородным. Обнаружено, что осевой профиль плотности плазмы в темном фарадеевом пространстве достигает максимума, который может превышать среднюю плотность плазмы в положительном столбе. Причиной повышенной ионизации в темном фарадеевом пространстве, по-видимому, является ступенчатая ионизация метастабильных молекул азота электронами, набравшими достаточную энергию в усиливающемся электрическом поле. Целесообразно относить темное фарадеево пространство не к катодным частям тлеющего разряда, а называть начальной (предварительной) фазой положительного столба. This work studies with a Langmuir probe axial profiles of such plasma parameters as electron temperature, plasma potential and concentration of the direct current glow discharge in nitrogen for various gas pressure values. The electric field strength is shown to be small in the negative glow whereas axial profiles of plasma concentration and electron temperature possess maxima. These parameters approach their minima near the interface separating the negative glow and the dark Faraday space. The strata are observed in the positive column at low gas pressure whereas at higher pressure (above 0.5 Torr) the column becomes uniform. The axial profile of plasma concentration in the dark Faraday space is found to attain a maximum that may exceed the average plasma concentration in the positive column. Increased ionization in the dark Faraday space may be caused by a step-like ionization of metastable nitrogen molecules by electrons having acquired the sufficient energy in the increasing electric field. It is expedient not to relate the dark Faraday space to cathode parts of the glow discharge but regard this space as a starting (preliminary) form of the positive column. У цій роботі методом ленгмюрівського зонда досліджено осьові профілі температури електронів, потенціалу, напружності електричного поля і густини плазми тліючого розряду постійного струму в азоті при різних тисках газу. Показано, що в негативному світінні напруженість електричного поля мала, а осьові профілі густини плазми і температури електронів мають максимуми. Поблизу межі негативного світіння і темного фарадеєвого простору перелічені вище профілі досягають мінімумів. У позитивному стовпі за низького тиску газу спостерігаються страти, в той час як при більш високому тиску газу (вище 0,5 Торр) він стає однорідним. Отримано, що осьовий профіль густини плазми в темному фарадеєвому просторі досягає максимуму, який може перевищувати середню густину плазми в позитивному стовпі. Причиною підвищеної іонізації в темному фарадеєвому просторі, мабуть, є ступінчаста іонізація метастабільних молекул азоту електронами, які набрали достатню енергію в електричному полі, що підсилюється. Доцільно віднести темний фарадеєвий простір не до катодних частин тліючого розряду, а називати початковою (попередньою) формою позитивного стовпа.Документ Экспериментальное исследование режимов горения и контракции тлеющего разряда в CF4(Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна. V.N. Karazin Kharkiv National University, 2012) Лисовский, В.А.; Пелюстка, О.И.; Коваль, В.А.; Lisovskiy, V.A.; Pelustka, O.I.; Koval, V.A.В этой работе экспериментально исследованы диффузный и контрагированный режимы тлеющего разряда постоянного тока в CF4. Найдено, что при фиксированном давлении газа область существования контрагированного режима при узких зазорах между электродами имеет неоднозначный характер. Контрагированный шнур появляется в стратифицированном положительном столбе с ростом разрядного тока. Однако в узких зазорах между электродами дальнейшее повышение разрядного тока может привести к уменьшению длины положительного столба (с одновременным значительным расширением отрицательного свечения), и контракция исчезает. В случае длинных разрядных промежутков увеличение тока не приводит к исчезновению контракции. У цій роботі експериментально досліджено дифузний та контрагований режими тліючого розряду постійного струму в CF4. Знайдено, що при фіксованому тиску газу область існування контрагованого режиму обмежена з боку вузьких зазорів між електродами, ця межа має неоднозначний характер. Контрагований шнур з'являється в стратифікованому позитивному стовпі зі зростанням розрядного струму. Однак у вузьких зазорах між електродами подальше підвищення розрядного струму призводить до зменшення довжини позитивного стовпа (з одночасним значним розширенням негативного світіння), і контракція зникає. У випадку довгих розрядних проміжків збільшення струму не призводить до зникнення контракції. This paper studies in experiment the diffuse and contracted modes of dc glow discharge in CF4. The existence region for the contracted mode with pressure unchanged is found to be limited from the small inter-electrode gap side, this boundary being multi-valued. A contracted column establishes in a stratified positive column with current increasing and inter-electrode gap or gas pressure fixed. However with subsequent current increase the length of the positive column decreases (with simultaneous considerable expansion of the negative glow), and contraction vanishes. At longer inter-electrode gap the current increase does not lead to contraction vanishing.Документ Влияние диссоциации молекул газа на горение ВЧ разряда в аммиаке низкого давления(Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна. Kharkov National University named V.N. Karazin, 2011) Лисовский, В.А.; Lisovskiy, V.A.Данная работа посвящена экспериментальному исследованию влияния процесса диссоциации молекул аммиака на горение ВЧ емкостного разряда. Показано, что для каждого давления аммиака имеется некоторое пороговое ВЧ напряжение, ниже которого степень диссоциации не превышает 3 %, а при более высоких ВЧ напряжениях степень диссоциации возрастает до 30 %. Повышение степени диссоциации NH3 ускоряет рост разрядного тока с ВЧ напряжением. ВЧ разряд как при низкой, так и при высокой степени диссоциации остается в слаботочной моде, т.к. все продукты диссоциации аммиака имеют более высокие потенциалы ионизации, чем NH3. This work is devoted to the experimental study of the effect of the dissociation of ammonia on burning RF capacitive discharge. It is shown that for each ammonia pressure there is a certain threshold RF voltage below which the degree of dissociation is less than 3%, while at higher RF voltages dissociation degree increases up to 30%. Increased dissociation of NH3 accelerates the growth of discharge current with radiofrequency voltage. RF discharge at both low and high degree of dissociation is in the low-current mode, as all the dissociation products of ammonia have higher ionization potentials than NH3. Ця робота присвячена експериментальному дослідженню впливу процесу дисоціації молекул аміаку на горіння ВЧ ємнісного розряду. Показано, що для кожного тиску аміаку є деяка порогова ВЧ напруга, нижче якої ступінь дисоціації не перевищує 3%, а при більш високих ВЧ напругах ступінь дисоціації зростає до 30%. Підвищення ступеня дисоціації NH3 прискорює зростання розрядного струму з ВЧ напругою. ВЧ розряд як при низькому, так і при високому ступені дисоціації залишається в слабкострумовій моді, тому що всі продукти дисоціації аміаку мають вищі потенціали іонізації, ніж NH3.Документ Режимы горения продольного комбинированного разряда в азоте низкого давления(Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна, 2007) Лисовский, В.А.; Харченко, Н.Д.В работе исследованы режимы горения разряда низкого давления в комбинированном (ВЧ + постоянном электрическом) поле. Предложено различать три режима продольного комбинированного разряда (ВЧ и постоянное напряжения прикладывались к одним и тем же электродам): 1) несамостоятельный ВЧ разряд, возмущенный постоянным электрическим полем, 2) комбинированный разряд, 3) несамостоятельный разряд постоянного тока, возмущенный ВЧ электрическим полем. Определены условия существования этих режимов. Показано, что диапазон параметров, в котором первый режим комбинированного разряда может быть погашен повышением постоянного напряжения, ограничен со стороны низких давлений кривой потухания ВЧ разряда, а также кривой перехода комбинированного разряда из первого режима во второй. Аналитически получено соотношение между толщинами “катодного” и “анодного” приэлектродных слоев для первого режима, которое хорошо согласуется с экспериментальными данными. The modes of low pressure combined (RF + DC) gas discharge were studied in this work. Longitudinal combined discharge (RF and DC voltages were applied to the same electrodes) can exist in three modes: 1) unself-sustained RF discharge, disturbed with DC electrical field, 2) combined discharge, 3) unself-sustained DC discharge, disturbed with RF electrical field. Conditions of existance of these modes were determined. The parameter range in which combined discharge burning in the first mode can be extinguished by increasing of DC voltage is limited in the low-pressure side with the extinction curve and the curve of the transition of combined discharge from the first mode to the second one. Relation between thicknesses of the “cathode” and “anode” layers was analytically obtained which agrees to the experimental results.Документ Экспериментальное изучение радиальной структуры ВЧ разряда(Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна, 2008) Лисовский, В.А.; Харченко, Н.Д.; Егоренков, В.Д.В работе исследовано распределение интенсивности свечения разрядной плазмы по радиусу трубки и измерены ленгмюровским зондом радиальные профили температуры электронов и плотности плазмы в ВЧ разряде. Экспериментально обнаружено резкое увеличение температуры электронов и интенсивности свечения вблизи стенки трубки в слаботочной моде ВЧ разряда, при этом радиальное распределение плотности плазмы максимально вблизи границы радиального слоя. В моде ВЧ разряда понижение температуры электронов во всем плазменном объеме приводит к ослаблению амбиполярного электрического поля и исчезновению пика интенсивности свечения вблизи стенки трубки. This paper studies the distribution of the glow intensity of the discharge plasma against the tube radius and reports the radial profiles of electron temperature and plasma concentration in the RF discharge registered with a Langmuir probe. An abrupt increase of electron temperature and glow intensity near the tube wall in the weak-current mode of the RF discharge is revealed, the radial distribution of plasma concentration possessing a maximum near the radial sheath boundary. In the mode of the RF discharge the electron temperature decrease in the total plasma volume leads to an ambipolar electric field weakening and the peak of the glow intensity near the tube wall vanishes.Документ Нормальный режим ВЧ разряда в аммиаке(Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна, 2008) Лисовский, В.А.В данной работе представлены вольт-амперные характеристики слаботочного режима ВЧ разряда в аммиаке для частот ВЧ электрического поля 13,56 МГц и 27,12 МГц. Получено, что только аномальный режим горения наблюдается при низких давлениях, когда рост тока сопровождается повышением ВЧ напряжения с полным покрытием разрядом площади электродов. Нормальный режим появляется при более высоких давлениях газа, когда рост тока происходит при увеличении площади, занимаемой разрядом на электродах. Разряд горит в аномальном режиме после полного покрытия поверхности электродов. Получено, что нормальная плотность тока увеличивается с повышением давления газа и частоты ВЧ электрического поля. Представлена аналитическая модель, предсказывающая пропорциональность нормальной плотности тока давлению в степени 5/6 и частоте в степени 11/6, что удовлетворительно описывает результаты экспериментов. This paper reports the current-voltage characteristics of a weak-current mode of the RF discharge in ammonia for the RF electric field frequencies of 13.56 MHz and 27.12 MHz. The only abnormal mode of burning is found to be observed at low pressure i.e. the current growth is accompanied by the RF voltage increase with a complete coverage of the electrode area by the discharge. The normal mode occurs at higher gas pressure i.e. the current growth takes place on increasing the area occupied by the discharge on the electrodes. The discharge burns in the abnormal mode after the electrode surface is completely covered with the discharge. The normal current density is found to increase with the growth of gas pressure and RF field frequency. An analytical model is reported predicting that the normal current density is proportional to the pressure to 5/6 power and to the frequency to 11/6 power furnishing the satisfactory description of the experimental results.Документ Нормальный режим разряда постоянного тока в азоте низкого давления(Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна, 2009) Лисовский, В.А.; Харченко, Н.Д.; Фатеев, Р.Н.Работа посвящена изучению нормального режима тлеющего разряда постоянного тока в азоте. В результате проведенных экспериментов двумя различными методами показано, что существует переходная область давлений азота (от порогового давления появления нормального режима при р 0,3 0,4 Торр до примерно р 2 Торр), в пределах которой нормальная плотность тока, деленная на давление газа в квадрате jn/p2 , не остается постоянной величиной, а уменьшается с ростом разрядного тока и давления газа. Экспериментально получены значения величин jn/p2 для различных материалов катодов и различных давлений азота. Проведены измерения радиального распределения плотности тока по площади катода в нормальном и аномальном режимах разряда в азоте при низком давлении. Установлено, что радиальные профили плотности тока в нормальном режиме имеют форму колокола, принимая максимальное значение в центре разрядного пятна. При этом толщина катодного слоя изменяется в радиальном направлении разрядного пятна нормального режима. Она принимает бóльшие значения вблизи краев пятна, одновременно в этих областях наблюдается пониженная плотность тока по сравнению с центром разрядного пятна. Цю роботу присвячено вивченню нормального режиму постійного струму у нітрогені. Двома різними методами показано, що існує перехідний діапазон тисків нітрогену (від граничного тиску, де з’являється нормальний режим, в умовах р 0,3 0,4 Торр до приблизно р 2 Торр), в межах якого нормальна густина струму, поділена на тиск газу в квадраті jn/p2, не залишається сталою, а зменшується зі збільшенням розрядного стуму і тиску газу. Експериментально отримані значення величин jn/p2 для різноманітних матеріалів катодів та різних тисків газів. Проведено вимірювання радіальних розподілів густини струму по площі катоду в нормальному та аномальному режимах розряду в нітрогені низького тиску. Встановлено, що радіальні профілі густини струму в нормальному режимі мають форму дзвона, приймаючи найбільше значення у центрі розрядної плями. При цьому товщина катодного шару змінюється у радіальному напрямку розрядної плями у нормальному режимі. Вона приймає більші значення поблизу границь розрядної плями, одночасно в цих областях спостерігається знижена густина струму в порівнянні з центром розрядної плями. This work is devoted to investigation of the normal mode of DC glowing discharge in nitrogen. As a result of the experiments we made by two different methods it is shown that the transition area of the nitrogen pressure exist (from the threshold pressure of the normal mode appearance р 0.3 0.4 Тоrr to р 2 Тоrr) where the normal current density divided to the squared gas pressure jn/p2 doesn’t remain constant and decreases with the discharge current increasing. Magnitudes jn/p2 for different cathode materials and gas pressures were obtained experimentally. The experiments on the investigation of the radial current density distribution across the cathode area in normal and abnormal modes were made. It is obtained that radial current density profile in normal mode has a form of a bell and possesses a maximum in the center of the discharge spot. Thickness of the cathode sheath changes in the radial direction of the discharge spot. It takes maxima values near the spot boarders; at the same time in this area lower current density compared to the center of the discharge spot is observed.Документ Зажигание разряда низкого давления в комбинированных электрических полях(Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна, 2009) Харченко, Н.Д.; Лисовский, В.А.В данной работе по аналогии трем режимам существования продольного комбинированного разряда предложено разделить зажигание разряда при одновременном наложении постоянного и высокочастотного электрических полей на три режима: 1) зажигание высокочастотного разряда (ВЧ), возмущенное постоянным электрическим полем; 2) зажигание в комбинированных полях; 3) зажигание разряда постоянного тока, возмущенное ВЧ электрическим полем. Показано, что наложение постоянного напряжения одновременно с высокочастотным сначала увеличивает ВЧ напряжение зажигания, по сравнению с самостоятельным ВЧ разрядом. Однако при достаточно больших постоянных напряжениях ВЧ напряжение зажигания комбинированного разряда уменьшается с увеличением постоянного напряжения и достигает нуля, когда зажигается самостоятельный разряд постоянного тока. Изучено влияние ВЧ напряжения на зажигание разряда постоянного тока. При наложении ВЧ напряжения большего, чем минимальное напряжение зажигания самостоятельного ВЧ разряда, кривая зависимости постоянного напряжения зажигания комбинированного разряда от давления газа состоит из двух частей. In this work by analogy to the three modes of the combined (RF+DC) discharges existence, we distinguish the ignition of the combined discharges also in three modes: 1) RF breakdown perturbed by the DC electric field, 2) breakdown in the combined field, 3) DC breakdown perturbed by the RF electric field. It is shown that application of the DC voltage combined with the RF first increases the RF breakdown voltage compared to the breakdown voltage of self-sustained RF discharge. However at sufficiently high DC voltages the DC field starts to contribute to the ionization of gas molecules, RF breakdown voltage goes down with the increasing of the DC voltage applied to the combined discharge and equals to zero, when the self-sustained DC discharge ignites. The DC breakdown curve, influenced by the RF voltages higher than the minimum RF breakdown voltage Urf.min, consists of two parts. В цій роботі аналогічно трьом режимам існування поздовжнього комбінованого розряду запропоновано розділити запалювання розряду при одночасному прикладенні постійного та високочастотного електричних полів на три режими: 1) запалювання високочастотного розряду (ВЧ), збурене постійним електричним полем; 2) запалювання в комбінованих полях; 3) запалювання розряду постійного струму, збурене ВЧ електричним полем. Показано, що прикладення постійної напруги одночасно з ВЧ спочатку збільшує ВЧ напругу запалення, у порівнянні з самостійним ВЧ розрядом Однак, при достатньо великих значеннях постійної напруги, ВЧ напруга запалювання комбінованого розряду зменшується зі зростанням постійної напруги та досягає нульового значення, коли запалюється самостійний розряд постійного струму. Вивчено вплив ВЧ напруги на запалювання розряду постійного струму. Якщо прикладати ВЧ напругу більшу, ніж мінімальна напруга запалювання самостійного ВЧ розряду, крива залежності постійної напруги запалювання комбінованого розряду від тиску газу складається з двох частин.