Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)N и (Ti-Hf-Si)N, полученных из потоков металлической плазмы

Приведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для системы (Ti-Zr-Si)N выявлены кристаллиты (Zr, Ti)N твердого раствора на основе кубической решетки типа NaCl. Размер кристаллитов изменяется в исследуемом интервале рабочих давлений незначительно и находится в области 60 70 нм. Твердость полученных покрытий составила 37 ГПа. В случае системы (Ti-Hf-Si)N формируется наноструктурная фаза μ-TiN с квазиаморфными фазами -Si3N4 и HfSi2-nc. Максимальное значение твердости составляет Н = 42,7 7 Гпа. Наведено результати експериментальних досліджень про вплив фізико-технологічних пара- метрів процесу осадження на формування покриттів (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N з сепарованого потоку металевої плазми. Для системи (Ti-Zr-Si)N виявлені кристаліти (Zr, Ti) N твердого розчину на основі кубічної решітки типу NaCl. Розмір кристалітів змінюється у досліджуваному інтервалі робочих тисків незначно і перебуває в області 60 70 нм. Твердість отриманих покриттів складає 37ГПа. У випадку системи (Ti-Hf-Si)N формується наноструктурна фаза -TiN з квазіаморфнимі фазами -Si3N4 і HfSi2-nc. Максимальне значення твердості становить Н = 42,7 Гпа. The results of experimental studies on the impact of physical and technological parameters of the deposition process on the formation of coatings (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N from the stream of separated metal plasma. For the system (Ti-Zr-Si)N crystallites identified (Zr,Ti) N solid solution based on cubic lattice type of NaCl. The size of the crystallites varies in the range of operating pressures is insignificant and is in the range 60 70 nm. The hardness of the coatings was 37 GPa. In the case of the system (Ti-Hf-Si) N phase is formed nanostructed -TiN phase with quasi -Si3N4 and HfSi2-nc. The maximum hardness is H = 42,7 7 Gpa.

Ключові слова

cепарированный поток металлической плазмы, парциальное давление, потенциал смещения, твердый раствор, твердость

Бібліографічний опис

Береснев В.М. Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)N и (Ti-Hf-Si)N, полученных из потоков металлической плазмы / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, В.В. Грудницкий, П.В. Турбин, Д.А. Колесников, Г.Н. Толмачева // Фізична інженерія поверхні. – 2010. – Том 8, № 2. – С. 124 - 129