Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)N и (Ti-Hf-Si)N, полученных из потоков металлической плазмы

dc.contributor.authorБереснев, В.М.
dc.contributor.authorПогребняк, А.Д.
dc.contributor.authorСоболь, О.В.
dc.contributor.authorГрудницкий, В.В.
dc.contributor.authorТурбин, П.В.
dc.contributor.authorКолесников, Д.А.
dc.contributor.authorТолмачева, Г.Н.
dc.date.accessioned2011-07-12T07:57:09Z
dc.date.available2011-07-12T07:57:09Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstractПриведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для системы (Ti-Zr-Si)N выявлены кристаллиты (Zr, Ti)N твердого раствора на основе кубической решетки типа NaCl. Размер кристаллитов изменяется в исследуемом интервале рабочих давлений незначительно и находится в области 60 70 нм. Твердость полученных покрытий составила 37 ГПа. В случае системы (Ti-Hf-Si)N формируется наноструктурная фаза μ-TiN с квазиаморфными фазами -Si3N4 и HfSi2-nc. Максимальное значение твердости составляет Н = 42,7 7 Гпа. Наведено результати експериментальних досліджень про вплив фізико-технологічних пара- метрів процесу осадження на формування покриттів (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N з сепарованого потоку металевої плазми. Для системи (Ti-Zr-Si)N виявлені кристаліти (Zr, Ti) N твердого розчину на основі кубічної решітки типу NaCl. Розмір кристалітів змінюється у досліджуваному інтервалі робочих тисків незначно і перебуває в області 60 70 нм. Твердість отриманих покриттів складає 37ГПа. У випадку системи (Ti-Hf-Si)N формується наноструктурна фаза -TiN з квазіаморфнимі фазами -Si3N4 і HfSi2-nc. Максимальне значення твердості становить Н = 42,7 Гпа. The results of experimental studies on the impact of physical and technological parameters of the deposition process on the formation of coatings (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N from the stream of separated metal plasma. For the system (Ti-Zr-Si)N crystallites identified (Zr,Ti) N solid solution based on cubic lattice type of NaCl. The size of the crystallites varies in the range of operating pressures is insignificant and is in the range 60 70 nm. The hardness of the coatings was 37 GPa. In the case of the system (Ti-Hf-Si) N phase is formed nanostructed -TiN phase with quasi -Si3N4 and HfSi2-nc. The maximum hardness is H = 42,7 7 Gpa.en
dc.identifier.citationБереснев В.М. Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)N и (Ti-Hf-Si)N, полученных из потоков металлической плазмы / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, В.В. Грудницкий, П.В. Турбин, Д.А. Колесников, Г.Н. Толмачева // Фізична інженерія поверхні. – 2010. – Том 8, № 2. – С. 124 - 129en
dc.identifier.otherУДК621.793
dc.identifier.urihttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/3864
dc.language.isoruen
dc.publisherХарківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН Україниen
dc.subjectcепарированный поток металлической плазмыen
dc.subjectпарциальное давлениеen
dc.subjectпотенциал смещенияen
dc.subjectтвердый растворen
dc.subjectтвердостьen
dc.titleСтруктура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)N и (Ti-Hf-Si)N, полученных из потоков металлической плазмыen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Вантажиться...
Ескіз
Назва:
10berstr.pdf
Розмір:
292.41 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Вантажиться...
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
7.9 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: