ГРАДУЮВАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА П’ЄЗОРЕЗОНАНСНОГО ДАТЧИКА МІКРОПЕРЕМІЩЕНЬ

Abstract

П’єзорезонансні датчики (ПРД) - один з найбільш універсальних типів первинних вимірювальних перетворювачів (ІП). Універсальність п’єзорезонатора як перетворювача фізичних величин визначається можливістю варіювати в широких межах його властивості і вибірковість реакцій на дії різної фізичної природи. Великі ресурси для управління властивостями перетворювача закладені в анізотропії п’єзоелектриків і різноманітті типів коливань вібратора. Використання вказаних чинників створює передумови до застосування ПРД для вирішення широкого круга завдань, тому розробка нових типів вимірювальних перетворювачів на базі ПРД є актуальною задачею у вимірювальній техніці. На відміну від традиційних п'єзодатчиків генераторного типу, що працюють на основі прямого п'єзоефекту, п’єзорезонансні є датчиками параметричного типу, в яких перетворення вхідної дії здійснюється в результаті модуляції параметрів п'єзорезонатора.