Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем: Методическое пособие для лабораторных работ по предмету “Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем”
Вантажиться...
Дата
Автори
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
ХНУ имени В.Н. Каразина
Анотація
Эти методические указания для лабораторных работ подготовлены для студентов физико-технического факультета, которые изучают курс
“Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем” на кафедре
физических технологий физико-технического факультета. Лабораторные работы охватывают различные свойства высокочастотного газового разряда низкого давления (зажигание разряда в высокочастотном и комбинированном
электрических полях, различные режимы горения высокочастотного разряда и т.д.).
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Лисовский В.А. Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем: Методическое пособие для лабораторных работ по предмету “Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем”. – Х.: ХНУ имени В.Н. Каразина, 2009. - 24 с.