Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем: Методическое пособие для лабораторных работ по предмету “Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем”
dc.contributor.author | Лисовский, В.А. | |
dc.date.accessioned | 2010-12-10T23:03:32Z | |
dc.date.available | 2010-12-10T23:03:32Z | |
dc.date.issued | 2009 | |
dc.description.abstract | Эти методические указания для лабораторных работ подготовлены для студентов физико-технического факультета, которые изучают курс “Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем” на кафедре физических технологий физико-технического факультета. Лабораторные работы охватывают различные свойства высокочастотного газового разряда низкого давления (зажигание разряда в высокочастотном и комбинированном электрических полях, различные режимы горения высокочастотного разряда и т.д.). | en |
dc.description.sponsorship | ФТФ | en |
dc.identifier.citation | Лисовский В.А. Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем: Методическое пособие для лабораторных работ по предмету “Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем”. – Х.: ХНУ имени В.Н. Каразина, 2009. - 24 с. | en |
dc.identifier.other | ББК 22.333я73 | |
dc.identifier.uri | https://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/1865 | |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | ХНУ имени В.Н. Каразина | en |
dc.relation.ispartofseries | ;ББК 22.333я73 | |
dc.subject | физика плазмы | en |
dc.subject | газовый разряд | en |
dc.title | Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем: Методическое пособие для лабораторных работ по предмету “Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем” | en |
dc.type | Learning Object | en |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
- Назва:
- МЕТОДИЧКА_RF_Лабораторные работы.pdf
- Розмір:
- 615.29 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 7.91 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: