Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем: Методическое пособие для лабораторных работ по предмету “Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем”

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЛисовский, В.А.
dc.date.accessioned2010-12-10T23:03:32Z
dc.date.available2010-12-10T23:03:32Z
dc.date.issued2009
dc.description.abstractЭти методические указания для лабораторных работ подготовлены для студентов физико-технического факультета, которые изучают курс “Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем” на кафедре физических технологий физико-технического факультета. Лабораторные работы охватывают различные свойства высокочастотного газового разряда низкого давления (зажигание разряда в высокочастотном и комбинированном электрических полях, различные режимы горения высокочастотного разряда и т.д.).
dc.description.sponsorshipФТФ
dc.identifier.citationЛисовский В.А. Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем: Методическое пособие для лабораторных работ по предмету “Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем”. – Х.: ХНУ имени В.Н. Каразина, 2009. - 24 с.
dc.identifier.otherББК 22.333я73
dc.identifier.urihttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/1865
dc.language.isoru
dc.publisherХНУ имени В.Н. Каразина
dc.relation.ispartofseries;ББК 22.333я73
dc.subjectфизика плазмы
dc.subjectгазовый разряд
dc.titleФизические основы ВЧ плазменно-технологических систем: Методическое пособие для лабораторных работ по предмету “Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем”
dc.typeLearning Object

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
МЕТОДИЧКА_RF_Лабораторные работы.pdf
Розмір:
615,29 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
7,91 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Навчальні видання. Навчально-науковий інститут "Фізико-технічний факультет"