Розробка системи термічної обробки нанорозмірних плівкових зразків

Abstract

Основною ціллю роботи є розробка системи для термічної обробки тонких плівок у середині колони просвітлювального електронного мікроскопа. Розроблений пристрій пройшов успішну апробацію та продемонстрував ефективність використання інформаційних технологій для автоматизованого керування перебігом фізичного експерименту.The main goal of the work is to develop a system for thermal treatment of thin films in the middle of a scanning electron microscope column. The developed device has been successfully tested and demonstrated the effectiveness of using information technologies for automated control of the course of a physical experiment.