Сверхвысокочастотный плазменный источник

Вантажиться...
Ескіз

Дата

ORCID

DOI

Науковий ступінь

Рівень дисертації

Шифр та назва спеціальності

Рада захисту

Установа захисту

Науковий керівник

Члени комітету

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна

Анотація

В работе представлена методика расчета параметров цилиндрического резонатора, используемого в СВЧ источнике плазмы в неоднородном магнитном поле в условиях электронного циклотронного резонанса. Приведены результаты изучения условий существования СВЧ разряда при давлении рабочего газа (воздух) порядка 10-5 мм рт.ст. Экспериментально показано, что с его помощью может создаваться плазма с максимальной плотностью частиц на выходе до 1010 см—3 и максимальной плотностью тока в плазменном потокe 600 мкА/см2. The method of the calculation parameter cylindrical resonator is presented in the work, which is used in the SHF source of the plasma in inhomogeneous magnetic field at electronic cyclotron resonance. The results of the study of the conditions of existence SHF discharge at pressure worker gas (the air) of the order 10-5 torr is presented in the work too. It is shown, that with its help plasma with density at outlet to 1010 sm3, with the maximal density of currents in a plasma stream 600 мкА/sm2 is created.

Опис

Бібліографічний опис

Власов В.В. Сверхвысокочастотный плазменный источник / В.В. Власов // Вiсник Харкiвського нацiонального унiверситету iм. В.Н. Каразiна. – 2007. – № 784. Сер.: Фізична. «Ядра, частинки, поля». – Вип. 4(36). – С. 121-124

Підтвердження

Рецензія

Додано до

Згадується в