Сверхвысокочастотный плазменный источник

Abstract

В работе представлена методика расчета параметров цилиндрического резонатора, используемого в СВЧ источнике плазмы в неоднородном магнитном поле в условиях электронного циклотронного резонанса. Приведены результаты изучения условий существования СВЧ разряда при давлении рабочего газа (воздух) порядка 10-5 мм рт.ст. Экспериментально показано, что с его помощью может создаваться плазма с максимальной плотностью частиц на выходе до 1010 см—3 и максимальной плотностью тока в плазменном потокe 600 мкА/см2. The method of the calculation parameter cylindrical resonator is presented in the work, which is used in the SHF source of the plasma in inhomogeneous magnetic field at electronic cyclotron resonance. The results of the study of the conditions of existence SHF discharge at pressure worker gas (the air) of the order 10-5 torr is presented in the work too. It is shown, that with its help plasma with density at outlet to 1010 sm3, with the maximal density of currents in a plasma stream 600 мкА/sm2 is created.