Закономірності формування, особливості структури та властивості іонно-плазмових нітридних покриттів TiSiN/NbN та TiSiN/CrN

Abstract

Дисертаційна робота присвячена створенню вакуумно-дугових багатошарових покриттів нанометрового масштабу типів TiSiN/NbN та TiSiN/CrN, які відповідають сучасним вимогам щодо захисту поверхні конструкційних матеріалів, які працюють в умовах підвищених температур, втомних і термовтомних навантажень, а також виявленню особливостей процесів синтезу, визначенню елементного і фазового складу, субструктури та властивостей багатошарових покриттів, а також зв’язків між структурою та механічними і трибологічними властивостями покриттів.The dissertation is devoted to the creation of multilayer coatings of nanometer scale based on TiSiN/NbN TiSiN/CrN that meet modern requirements for surface protection of structural materials operating at elevated temperatures, fatigue and thermal fatigue loads, as well as to identify the features of the synthesis processes, elemental and phase composition, substructure and properties of multilayer coatings obtained by vacuum arc deposition. Determination of the relationship between the structure and mechanical and tribological properties of coatings.