Плазмові технології в нанолітографії
Ескіз недоступний
Дата
2016
Автори
Гречко, Я.О.
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
ХНУ імені В.Н.Каразіна
Анотація
Опис
Теза доповіді студентської наукової роботи
Ключові слова
Бібліографічний опис
Студентська наукова конференція з прикладної фізики „Актуальні проблеми сучасної фізики”: Тези. – Х.: ХНУ імені В.Н. Каразіна, 2016. - 15с.