Магнетронні розпорошувальні системи з додатковим іонним бомбардуванням для нанесення наноструктурних покриттів

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorШестиалтинов С.В.
dc.date.accessioned2024-12-18T12:14:26Z
dc.date.issued2023
dc.descriptionКваліфікаційна робота магістра. - Керівник : Зиков Олександр Володимирович, доктор фізико-математичних наук, професор кафедри матеріалів реакторобудування та фізичних технологій фізико-технічного факультету
dc.identifier.citationШестиалтинов С.В. Магнетронні розпорошувальні системи з додатковим іонним бомбардуванням для нанесення наноструктурних покриттів : пояснювальна записка до дипломного проекту (роботи) магістра : спеціальність 105 «Прикладна фізика та наноматеріали» : освітня програма: Прикладна фізика / С.В. Шестиалтинов ; кер. О.В. Зиков. – Харків : Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, 2023. – 72 с.
dc.identifier.urihttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/19333
dc.language.isouk
dc.publisherХарків : Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна
dc.subjectNATURAL SCIENCES::Physics::Nuclear physics
dc.subjectіонний пучок
dc.subjectджерело іонів
dc.subjectмагнетронний розряд
dc.subjectнизькотемпературна плазма
dc.subjectіонно-плазмові системи
dc.subjectгазовий розряд у магнітному полі
dc.subjectнанотехнології
dc.subjection beam
dc.subjection source
dc.subjectmagnetron discharge
dc.subjectlow-temperature plasma
dc.subjection-plasma systems
dc.subjectgas discharge in a magnetic field
dc.subjectnanotechnology
dc.titleМагнетронні розпорошувальні системи з додатковим іонним бомбардуванням для нанесення наноструктурних покриттів
dc.title.alternativeMagnetron sputtering systems with additional ion bombardment for deposition of the nanostructured coatings
dc.typeOther

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Шестиалтинов.pdf
Розмір:
2.39 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
8.3 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кваліфікаційні випускні роботи здобувачів вищої освіти. Навчально-науковий інститут "Фізико-технічний факультет"