Магнетронні розпорошувальні системи з додатковим іонним бомбардуванням для нанесення наноструктурних покриттів
Loading...
Date
Authors
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Харків : Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна
Abstract
Description
Кваліфікаційна робота магістра. - Керівник : Зиков Олександр Володимирович, доктор фізико-математичних наук, професор кафедри матеріалів реакторобудування та фізичних технологій фізико-технічного факультету
Keywords
NATURAL SCIENCES::Physics::Nuclear physics, іонний пучок, джерело іонів, магнетронний розряд, низькотемпературна плазма, іонно-плазмові системи, газовий розряд у магнітному полі, нанотехнології, ion beam, ion source, magnetron discharge, low-temperature plasma, ion-plasma systems, gas discharge in a magnetic field, nanotechnology
Citation
Шестиалтинов С.В. Магнетронні розпорошувальні системи з додатковим іонним бомбардуванням для нанесення наноструктурних покриттів : пояснювальна записка до дипломного проекту (роботи) магістра : спеціальність 105 «Прикладна фізика та наноматеріали» : освітня програма: Прикладна фізика / С.В. Шестиалтинов ; кер. О.В. Зиков. – Харків : Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, 2023. – 72 с.