Магнетронні розпорошувальні системи з додатковим іонним бомбардуванням для нанесення наноструктурних покриттів
Вантажиться...
Дата
Автори
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харків : Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна
Анотація
Опис
Кваліфікаційна робота магістра. - Керівник : Зиков Олександр Володимирович, доктор фізико-математичних наук, професор кафедри матеріалів реакторобудування та фізичних технологій фізико-технічного факультету
Ключові слова
NATURAL SCIENCES::Physics::Nuclear physics, іонний пучок, джерело іонів, магнетронний розряд, низькотемпературна плазма, іонно-плазмові системи, газовий розряд у магнітному полі, нанотехнології, ion beam, ion source, magnetron discharge, low-temperature plasma, ion-plasma systems, gas discharge in a magnetic field, nanotechnology
Бібліографічний опис
Шестиалтинов С.В. Магнетронні розпорошувальні системи з додатковим іонним бомбардуванням для нанесення наноструктурних покриттів : пояснювальна записка до дипломного проекту (роботи) магістра : спеціальність 105 «Прикладна фізика та наноматеріали» : освітня програма: Прикладна фізика / С.В. Шестиалтинов ; кер. О.В. Зиков. – Харків : Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, 2023. – 72 с.