Магнетронні розпорошувальні системи з додатковим іонним бомбардуванням для нанесення наноструктурних покриттів
Вантажиться...
Дата
Автори
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харків : Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна
Анотація
Опис
Кваліфікаційна робота магістра. - Керівник : Зиков Олександр Володимирович, доктор фізико-математичних наук, професор кафедри матеріалів реакторобудування та фізичних технологій фізико-технічного факультету
Ключові слова
NATURAL SCIENCES::Physics::Nuclear physics, іонний пучок, джерело іонів, магнетронний розряд, низькотемпературна плазма, іонно-плазмові системи, газовий розряд у магнітному полі, нанотехнології, ion beam, ion source, magnetron discharge, low-temperature plasma, ion-plasma systems, gas discharge in a magnetic field, nanotechnology
Бібліографічний опис
Шестиалтинов С.В. Магнетронні розпорошувальні системи з додатковим іонним бомбардуванням для нанесення наноструктурних покриттів : пояснювальна записка до дипломного проекту (роботи) магістра : спеціальність 105 «Прикладна фізика та наноматеріали» : освітня програма: Прикладна фізика / С.В. Шестиалтинов ; кер. О.В. Зиков. – Харків : Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, 2023. – 72 с.