Фізичні основи магнетронного розпорошення та різновиди магнетронних систем для нанесення покриттів
Вантажиться...
Дата
Автори
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харків : ХНУ імені В.Н. Каразіна
Анотація
Опис
Виконав: студент 2 курсу навчання за ОНП магістр спеціальності 105 Прикладна фізика та наноматеріали освітня програма: Експериментальна ядерна фізика та фізика плазми Верещака Є.А.
Керівник Середа К.М., кандидат фізико-математичних наук, ст. наук. співроб.
Бібліографічний опис
Верещака, Є.А. Фізичні основи магнетронного розпорошення та різновиди магнетронних систем для нанесення покриттів : кваліфікаційна робота магістра, спеціальность 105 - Прикладна фізика та наноматеріали, освітня програма - Експериментальна ядерна фізика та фізика плазми / Є.А. Верещака ; Науковий керівник К.М. Середа. - Харків : ХНУ імені В.Н. Каразіна, 2022. - 50 с.