Фізичні основи магнетронного розпорошення та різновиди магнетронних систем для нанесення покриттів
Дата
2022-12-20
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харків : ХНУ імені В.Н. Каразіна
Анотація
Опис
Виконав: студент 2 курсу навчання за ОНП магістр спеціальності 105 Прикладна фізика та наноматеріали освітня програма: Експериментальна ядерна фізика та фізика плазми Верещака Є.А.
Керівник Середа К.М., кандидат фізико-математичних наук, ст. наук. співроб.
Ключові слова
кваліфікаційна робота, магістр, магнетронні розпорошувальні системи (МРС), іонне розпорошення, МРС з ВЧ-індуктором, імпульсні МРС, незбалансовані МРС, конічні МРС, планарні МРС, циліндричні МРС, рух електронів та іонів у розрядному проміжку МРС, магнітна пастка для електронів
Бібліографічний опис
Верещака, Є.А. Фізичні основи магнетронного розпорошення та різновиди магнетронних систем для нанесення покриттів : кваліфікаційна робота магістра, спеціальность 105 - Прикладна фізика та наноматеріали, освітня програма - Експериментальна ядерна фізика та фізика плазми / Є.А. Верещака ; Науковий керівник К.М. Середа. - Харків : ХНУ імені В.Н. Каразіна, 2022. - 50 с.