Фізичні основи магнетронного розпорошення та різновиди магнетронних систем для нанесення покриттів

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorВерещака, Є.А.
dc.contributor.authorзбалансовані МРС
dc.date.accessioned2022-12-20T09:50:20Z
dc.date.available2022-12-20T09:50:20Z
dc.date.issued2022-12-20
dc.descriptionВиконав: студент 2 курсу навчання за ОНП магістр спеціальності 105 Прикладна фізика та наноматеріали освітня програма: Експериментальна ядерна фізика та фізика плазми Верещака Є.А. Керівник Середа К.М., кандидат фізико-математичних наук, ст. наук. співроб.ru_RU
dc.identifier.citationВерещака, Є.А. Фізичні основи магнетронного розпорошення та різновиди магнетронних систем для нанесення покриттів : кваліфікаційна робота магістра, спеціальность 105 - Прикладна фізика та наноматеріали, освітня програма - Експериментальна ядерна фізика та фізика плазми / Є.А. Верещака ; Науковий керівник К.М. Середа. - Харків : ХНУ імені В.Н. Каразіна, 2022. - 50 с.
dc.identifier.urihttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/17694
dc.language.isoukru_RU
dc.publisherХарків : ХНУ імені В.Н. Каразіна
dc.subjectкваліфікаційна роботаru_RU
dc.subjectмагістрru_RU
dc.subjectмагнетронні розпорошувальні системи (МРС)
dc.subjectіонне розпорошення
dc.subjectМРС з ВЧ-індуктором
dc.subjectімпульсні МРС
dc.subjectнезбалансовані МРС
dc.subjectконічні МРС
dc.subjectпланарні МРС
dc.subjectциліндричні МРС
dc.subjectрух електронів та іонів у розрядному проміжку МРС
dc.subjectмагнітна пастка для електронів
dc.titleФізичні основи магнетронного розпорошення та різновиди магнетронних систем для нанесення покриттівru_RU
dc.title.alternativePhysical basics of magnetron sputtering and types of magnetron systems for coating depositionru_RU
dc.typeOtherru_RU

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Диплом_маг_Верещака.pdf
Розмір:
828.78 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.8 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кваліфікаційні випускні роботи здобувачів вищої освіти. Навчально-науковий інститут "Фізико-технічний факультет"