Фізичні основи магнетронного розпорошення та різновиди магнетронних систем для нанесення покриттів

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorВерещака, Є.А.
dc.contributor.authorзбалансовані МРС
dc.date.accessioned2022-12-20T09:50:20Z
dc.date.available2022-12-20T09:50:20Z
dc.date.issued2022-12-20
dc.descriptionВиконав: студент 2 курсу навчання за ОНП магістр спеціальності 105 Прикладна фізика та наноматеріали освітня програма: Експериментальна ядерна фізика та фізика плазми Верещака Є.А. Керівник Середа К.М., кандидат фізико-математичних наук, ст. наук. співроб.
dc.identifier.citationВерещака, Є.А. Фізичні основи магнетронного розпорошення та різновиди магнетронних систем для нанесення покриттів : кваліфікаційна робота магістра, спеціальность 105 - Прикладна фізика та наноматеріали, освітня програма - Експериментальна ядерна фізика та фізика плазми / Є.А. Верещака ; Науковий керівник К.М. Середа. - Харків : ХНУ імені В.Н. Каразіна, 2022. - 50 с.
dc.identifier.urihttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/17694
dc.language.isouk
dc.publisherХарків : ХНУ імені В.Н. Каразіна
dc.subjectкваліфікаційна робота
dc.subjectмагістр
dc.subjectмагнетронні розпорошувальні системи (МРС)
dc.subjectіонне розпорошення
dc.subjectМРС з ВЧ-індуктором
dc.subjectімпульсні МРС
dc.subjectнезбалансовані МРС
dc.subjectконічні МРС
dc.subjectпланарні МРС
dc.subjectциліндричні МРС
dc.subjectрух електронів та іонів у розрядному проміжку МРС
dc.subjectмагнітна пастка для електронів
dc.titleФізичні основи магнетронного розпорошення та різновиди магнетронних систем для нанесення покриттів
dc.title.alternativePhysical basics of magnetron sputtering and types of magnetron systems for coating deposition
dc.typeMaster thesis

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Диплом_маг_Верещака.pdf
Розмір:
828,78 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
7,8 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кваліфікаційні випускні роботи магістрів. Навчально-науковий інститут "Фізико-технічний факультет"