Перегляд за Автор "Єфименко , Ніна Олександрівна"

Зараз показуємо 1 - 1 з 1

Формування комбінованих потоків активованих частинок в плазмових системах зі схрещеними ЕН-полями для синтезу наноструктурних покриттів
(Харків : Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, 2023) Єфименко , Ніна Олександрівна; Yefymenko, N.O.
Дисертаційну роботу присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування потоків іонів, електронів і хімічно активних частинок в кластерній іонно-плазмовій системі (КІПС) та в комбінованій магнетронній іонно-променевой / плазмовій системах (МІПС) зі схрещеними ЕН полями для синтезу складно-композиційних наноструктурних покриттів. Створення кластерних та комбінованих іонно-плазмових систем, які складаються з декількох плазмових модулів є перспективним напрямком для отримання потоків активованих частинок з можливістю незалежного керування енергією та густиною струму, що необхідно для розробки новітніх технологій синтезу наноструктурних функціональних покриттів з заданими параметрами.