Формування комбінованих потоків активованих частинок в плазмових системах зі схрещеними ЕН-полями для синтезу наноструктурних покриттів

Abstract

Дисертаційну роботу присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування потоків іонів, електронів і хімічно активних частинок в кластерній іонно-плазмовій системі (КІПС) та в комбінованій магнетронній іонно-променевой / плазмовій системах (МІПС) зі схрещеними ЕН полями для синтезу складно-композиційних наноструктурних покриттів. Створення кластерних та комбінованих іонно-плазмових систем, які складаються з декількох плазмових модулів є перспективним напрямком для отримання потоків активованих частинок з можливістю незалежного керування енергією та густиною струму, що необхідно для розробки новітніх технологій синтезу наноструктурних функціональних покриттів з заданими параметрами.The dissertation is devoted to the research of the processes of generation and transport of flows of ions, electrons and chemically active particles in the cluster ion-plasma system (CIPS) and in the combined magnetron ion-beam / plasma systems (MIPS) with crossed EН fields for the synthesis of complex-composite nanostructured coatings. The creation of cluster and combined ion-plasma systems, which consist of several plasma modules, is a promising direction for obtaining flows of activated particles with the possibility of independent control of the energy and current density of ions, electrons and chemically active particles, which is necessary for the development of the latest synthesis technologies nanostructured functional coatings with specified parameters.