Эти методические указания для лабораторных работ подготовлены для студентов физико-технического факультета, которые изучают курс
“Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем” на кафедре
физических технологий физико-технического факультета. Лабораторные работы охватывают различные свойства высокочастотного газового разряда низкого давления (зажигание разряда в высокочастотном и комбинированном
электрических полях, различные режимы горения высокочастотного разряда и т.д.).
