Longitudinal combined discharge extinction in low pressure nitrogen
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
journal homepage: www.elsevier.com/locate/vacuum
Анотація
This paper reports the registered extinction curves of the longitudinal combined discharge in nitrogen when rf and dc voltages were applied to the same electrodes. The application of dc voltage is shown first to lead to an increase in the rf discharge extinction voltage; at the same time, the ‘‘cathode’’ sheath thickness increases and the number of charged particles in the plasma volume decreases. The discharge extinction curve first shifts to the range of higher rf voltage and gas pressure values, and the region of
multi-valued dependence of the rf extinction voltage on gas pressure vanishes. At larger dc voltage values, when the ‘‘cathode’’ sheath breakdown occurs, the rf discharge extinction voltage decreases and
approaches zero at the dc extinction voltage for the dc self-sustained discharge.
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Vacuum 83 (2009) 724–726