Alpha–gamma transition in RF capacitive discharge in low-pressure oxygen
Вантажиться...
Дата
Автори
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
www.elsevier.com/locate/vacuum
Анотація
We report the recorded current–voltage characteristics of a RF capacitive discharge in oxygen. Low-frequency oscillations of the plasma potential in a kilohertz frequency range are observed to accompany the transition of the discharge from a weak- (a-) to a strong-current (g-) regime in the low-pressure range. The weak-current regime of the RF capacitive discharge is observed within the pressure range limited not only from the medium pressure side but also
from the lower-pressure one. Electron temperature and plasma density are registered with a probe technique.
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Vacuum 74 (2004) 19–28