Возмущение импеданса индуктора, взаимодействующего с плазмой низкой плотности
Вантажиться...
Дата
2008
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Анотація
В работе описаны экспериментальные исследования импеданса индуктора в цилиндрическом
источнике плазмы ВЧ индукционного типа. Представлены результаты измерений напряжения
на индукторе, эффективных индуктивности и сопротивления. Сделан вывод, что в случае
плазмы низкой плотности мнимой частью импеданса плазмы и геометрической индуктивностью
плазмы можно пренебречь. С использованием этого подхода получены простые выражения
для эффективного импеданса индуктора, которые хорошо согласуются с экспериментальными
результатами.
У роботі описані експериментальні дослідження
імпедансу індуктора в циліндричному джерелі
плазми ВЧ індукційного типу. Представлено результати вимірів напруги на індукторі, ефективні
індуктивності й опори. Зроблено висновок, що у
випадку плазми низької щільності мнимою частиною імпедансу плазми й геометричною індуктивністю плазми можна знехтувати. З використанням цього підходу отримані прості вираження
для ефективного імпедансу індуктора, які добре
погодяться з експериментальними результатами.
This paper describes experimental investigations of
an inductive coil impedance in the cylindrical inductively
coupled low density RF plasma source. Detailed
measurements of the inductive coil voltage,
effective inductance and resistance are reported. It
is concluded that in the case of low plasma density
imaginary part of the plasma impedance and geometrical
plasma inductance can be neglected. Using
this approach simple expressions for the effective
inductor impedance have been obtained, being in
good agreement with the experimental data.
Опис
Ключові слова
физическая инженерия поверхности, импеданс индуктора, плазма низкой плотности, источник плазмы ВЧ индукционного типа
Бібліографічний опис
Рафальский Д.В. Возмущение импеданса индуктора, взаимодействующего с плазмой низкой плотности / Д.В. Рафальский, С.В. Дудин, К.И. Положий // Фізична інженерія поверхні. – 2008. – Том 6, № 3-4. – С. 155 – 159