Фізичні процеси у приелектродних шарах i плазмі тліючого та високочастотного ємнісного розрядів

Артюшенко, К.П.; Artushenko, K.P.

Фізичні процеси у приелектродних шарах i плазмі тліючого та високочастотного ємнісного розрядів

dc.contributor.author	Артюшенко, К.П.
dc.contributor.author	Artushenko, K.P.
dc.date.accessioned	2019-05-11T09:37:46Z
dc.date.available	2019-05-11T09:37:46Z
dc.date.issued	2017
dc.description	Дисертаційна робота присвячена розв’язанню наукового завдання, яке полягає у з'ясуванні структури і властивостей катодного шару і позитивного стовпа тліючого розряду, а також приелектродного шару і квазінейтральної плазми ВЧ ємнісного розряду. Найбільш важливою частиною тліючого розряду є катодний шар. У лабораторних і технологічних камерах низькотемпературна плазма зазвичай контактує з їх стінками, а також електродами, ленгмюрівськими зондами тощо. Між стінками розрядних камер і плазмою виникає перехідна область - приелектродний шар. Такий шар описується законом Чайльда-Ленгмюра (закон "3/2"), в якому не враховуються зіткнення позитивних іонів із молекулами газу. Для випадку руху іонів крізь шар із зіткненнями з молекулами газу в роботах інших дослідників було виведено два рівняння (за аналогією їх часто також називають рівняннями Чайльда-Ленгмюра), одне з яких передбачає рух іонів з постійною довжиною вільного пробігу  i , а друге відповідає руху іонів з постійною рухливістю i. Доцільно з'ясувати, який із законів Чайльда-Ленгмюра може використовуватися для опису характеристик катодного шару.
dc.description.abstract	Artushenko K.P. Physical processes in near-electrode sheaths and plasma of glow and radio frequency capacitive discharges. – Qualification scientific paper (manuscript). 6 Thesis for a Candidate of Science Degree in Physics and Mathematics (PhD) by speciality – plasma physics (Physics and mathematics). – V.N.Karazin Kharkiv National University, Kharkiv, 2017.
dc.identifier.citation	Артюшенко К.П. Фізичні процеси у приелектродних шарах i плазмі тліючого та високочастотного ємнісного розрядів. – Кваліфікаційна наукова праця на правах рукопису. Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико – математичних наук за спеціальністю 01.04.08 – фізика плазми (Фізико- математичні науки). – Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Харків, 2017.
dc.identifier.uri	https://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/14650
dc.language.iso	uk
dc.publisher	Харків: ХНУ імені В. Н. Каразіна
dc.subject	Research Subject Categories::SOCIAL SCIENCES::Social sciences::Education
dc.subject	Research Subject Categories::NATURAL SCIENCES
dc.subject	тліючий розряд
dc.subject	катодний ша
dc.subject	позитивний стовп
dc.subject	нормальний режим
dc.subject	аномальний режим
dc.subject	високочастотний ємнісний розряд
dc.subject	зведене електричне поле
dc.subject	glow discharge
dc.subject	cathode sheath
dc.subject	positive column
dc.subject	normal mode
dc.subject	abnormal mode
dc.subject	radio frequency capacitive discharge
dc.subject	reduced electric field
dc.title	Фізичні процеси у приелектродних шарах i плазмі тліючого та високочастотного ємнісного розрядів
dc.title.alternative	Physical processes in near-electrode sheaths and plasma of glow and radio frequency capacitive discharges
dc.type	Book