Фізичні процеси у приелектродних шарах i плазмі тліючого та високочастотного ємнісного розрядів

Артюшенко, К.П.; Artushenko, K.P.

Фізичні процеси у приелектродних шарах i плазмі тліючого та високочастотного ємнісного розрядів

dc.contributor.author	Артюшенко, К.П.
dc.contributor.author	Artushenko, K.P.
dc.date.accessioned	2019-05-11T09:37:46Z
dc.date.available	2019-05-11T09:37:46Z
dc.date.issued	2017
dc.description	Дисертаційна робота присвячена розв’язанню наукового завдання, яке полягає у з'ясуванні структури і властивостей катодного шару і позитивного стовпа тліючого розряду, а також приелектродного шару і квазінейтральної плазми ВЧ ємнісного розряду. Найбільш важливою частиною тліючого розряду є катодний шар. У лабораторних і технологічних камерах низькотемпературна плазма зазвичай контактує з їх стінками, а також електродами, ленгмюрівськими зондами тощо. Між стінками розрядних камер і плазмою виникає перехідна область - приелектродний шар. Такий шар описується законом Чайльда-Ленгмюра (закон "3/2"), в якому не враховуються зіткнення позитивних іонів із молекулами газу. Для випадку руху іонів крізь шар із зіткненнями з молекулами газу в роботах інших дослідників було виведено два рівняння (за аналогією їх часто також називають рівняннями Чайльда-Ленгмюра), одне з яких передбачає рух іонів з постійною довжиною вільного пробігу  i , а друге відповідає руху іонів з постійною рухливістю i. Доцільно з'ясувати, який із законів Чайльда-Ленгмюра може використовуватися для опису характеристик катодного шару.	ru_RU
dc.description.abstract	Artushenko K.P. Physical processes in near-electrode sheaths and plasma of glow and radio frequency capacitive discharges. – Qualification scientific paper (manuscript). 6 Thesis for a Candidate of Science Degree in Physics and Mathematics (PhD) by speciality – plasma physics (Physics and mathematics). – V.N.Karazin Kharkiv National University, Kharkiv, 2017.	ru_RU
dc.identifier.citation	Артюшенко К.П. Фізичні процеси у приелектродних шарах i плазмі тліючого та високочастотного ємнісного розрядів. – Кваліфікаційна наукова праця на правах рукопису. Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико – математичних наук за спеціальністю 01.04.08 – фізика плазми (Фізико- математичні науки). – Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Харків, 2017.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/14650
dc.language.iso	uk	ru_RU
dc.publisher	Харків: ХНУ імені В. Н. Каразіна	ru_RU
dc.subject	Research Subject Categories::SOCIAL SCIENCES::Social sciences::Education	ru_RU
dc.subject	Research Subject Categories::NATURAL SCIENCES	ru_RU
dc.subject	тліючий розряд	ru_RU
dc.subject	катодний ша	ru_RU
dc.subject	позитивний стовп	ru_RU
dc.subject	нормальний режим	ru_RU
dc.subject	аномальний режим	ru_RU
dc.subject	високочастотний ємнісний розряд	ru_RU
dc.subject	зведене електричне поле	ru_RU
dc.subject	glow discharge	ru_RU
dc.subject	cathode sheath	ru_RU
dc.subject	positive column	ru_RU
dc.subject	normal mode	ru_RU
dc.subject	abnormal mode	ru_RU
dc.subject	radio frequency capacitive discharge	ru_RU
dc.subject	reduced electric field	ru_RU
dc.title	Фізичні процеси у приелектродних шарах i плазмі тліючого та високочастотного ємнісного розрядів	ru_RU
dc.title.alternative	Physical processes in near-electrode sheaths and plasma of glow and radio frequency capacitive discharges	ru_RU
dc.type	Book	ru_RU